Untuk dapat menimbulkan plasma di dalam chamber yang berisi gas nitrogen ialah dengan memberikan tegangan RF/DC. Dengan memberikan tegangan RF pacta elektroda maupun kumparan induksi, maka pada elektroda akan timbul medan listrik, medan listrik ini akan mengarahkan elektron ke anoda dan ion ke katoda. Dengan demikian akan timbul arus, jika tegangan dinaikkan lagi maka ion dan elektron akan mempunyai cukup tenaga untuk mengionkan atom-atom yang depannya. Selama terjadi plasma maka ion-ion nitrogen akan berdifusi ke dalam permukaan substrat, sehingga akan terjadi peristiwa kekosongan, efek difusi, substitusi, interstisi. Sistem plasma dengan teknik gabungan RF/DC pada dasarnya terdiri dari tabung chamber plasma, pompa, sumber gas nitrogen, penyedia daya RF clan penyedia daya tegangan tinggi DC. Udara di dalam tabung reaktor plasma divakumkan dengan pompa dengan tekanan yang diinginkan, kira-kira menunggu 30 menit untuk benar-benar vakum. Tekanan dapat dikontrol dengan alat ukur tekanan, kemudian power supply AC dinyalakan fungsinya untuk pembangkit plasma atau indikator input. Arus yang digunakan harus maksimal yaitu 0,8 A, dan dayanya 100 Watt. Untuk membangkitkan indikator dalam chamber dapat diberikan tegangan RF dan untuk mengarahkan plasma untuk menuju substrat menggunakan tegangan tinggi DC. Digunakannya tegangan tinggi DC karena RF memiliki intensitas yang kecil sehingga plasma hanya akan berputar putar saja di chamber, oleh karena itu perlu tegangan tinggi DC untuk mengarahkan plasma pada substrat. Kemudian gas nitrogen dimasukkan kedalam tabung reaktor plasma dengan mengatur alat pengukur laju arus gas, sehingga tekanan dalam tabung akan naik. Karena semakin banyak gas yang masuk ke dalam chamber maka tekanan di dalam chamber akan meningkat, sehingga untuk mengatur tekanan yang diinginkan maka harus membuka dan menutup pompa. Saat gas nitrogen dialirkan di dalam chamber, maka warna gas di dalam chamber menjadi ungu, dan terjadi spark atau pijaran. Hal tersebut terjadi karena plasma tidak stabil adanya peristiwa eksitasi dan dieksitasi antara ion-ion yang saling bertumbukan. Selain itu juga karena chamber kotor, untuk pembersihannya biasanya pakai ethanol. Jika sangat kotor maka chamber diamplas. Frekuensi yang digunakan adalah 2 MHz, karena agar tidak mengganggu frekuensi yang lain. Frekuensi yang umum digunakan 13656 Mhz. Digunakannya detektor aurora 4000 GE-UV-NIR untuk melihat spesifik dari gas yang terionisasi di dalam chamber. Dengan kabel dan alat yang dipasang di kaca penutup chamber yang telah dilengkapi sensor dan terhubung dengan laptop maka spesifik gas akan terdeteksi dalam bentuk gelombang yang dapat dianalisis. Sehingga kita bisa mendapatkan informasi dari analisis gelombang tersebut. 1
