Proses Metal

Perkembangan Dan Bencmarking pada
Multivariate SPC tools untuk proses
Semikonduktor
BUDI SUTOMO SAM – 071305 NR
Pendahuluan
Proses Semikonduktor memilki proses yang
sama seperti prosese kimia lainnya, metode
ini layak untuk meningkatkan pengukuran.
Mampu menurunkan biaya dan mampu
melakukan perbaikan berkelanjutan
(continue Improvement). Penelitian ini focus
pada Lam 9600 metal di Texas Instruments
untuk mempelajari Principal Componen
Analysis (PCA). Yang mana sama digunakan
untuk Multivariate Statistical Process Control
(MSPC)
Proses Metal
Ada beberapa tahapan simiconductors pada
proses metal, standar yang baku ada enam
tahap. Tahap 1,2 untuk siklus gas dan
menstabilkan tekanan, tahap 3 meringkas
pembakaran plasma, tahap 4 adalah yang paling
penting yaitu menempatkan Al dan mengakhiri Al
pada endpoint, tahap 5 berperan sbg over-etch
untuk menempatkan timah dan oksida. proses
kimia identik selama tahap 3 samapi tahap 5.
tahap 6 keluar dari proses.
Proses Metal
Endpoint Signal For Typical Etch Profile
Proses Sensor
Dalam memilih sensor pertama kali yang
harus dipertimbangkan adalah kapan
rencana proses monitoring dan sistem
deteksi kesalahan, idealnya sensor yang
mampu merefleksikan keadaan. Keadaan
khas sensor tidak tersedia yang asli, jadi
alternatifnya memilih proses keadaan
sensor yang biasa karena pesediaannya
banyak
•Benchmarking merupakan alat yang
penting dalam mendukung usahausaha perbaikan yang berkelanjutan
•Berevolusi dari competitive
benchmarking, process benchmarking,
dan strategy benchmarking.
Competitive Benchmarking
1.Benchmarking Karakteristik Produk
Contoh Pengembangan Mobil Ford dari
kompetitor Taurus dan Sable, di mana misi
dari Ford untuk mendesain mobil dengan
features terbaik di kelasnya pada berbagai
kategori yang penting
2. Benchmarking Biaya Produk
Biasanya lebih sulit karena lebih rahasia, tetapi
bisa diperkirakan berdasarkandat-data
pembelian perusahaan atau bertanya pada
PROCESS BENCHMARKING
• Tetapkan hal-hal yang diperlukan untuk memahami
•
hasil dari proses, faktor-faktor kesuksesan yang kritis,
dan hasil-hasil yang diinginkan.
Buat grafik radar untuk memperlihatkan kondisi kinrja
sekarang dan kondisi kompetitor
Integritas
perusahaa
n
Benchmark
Kinerja Sekarang
160
140
120
100
80
60
40
20
0
Pelaya
nan
Biaya
Ekonomi
Kecepatan
Kenyama
nan
Saf ety
STRATEGY BENCHMARKING
• Hampir sama dengan process benchmarking
karena proses-proses digunakan dalam
benchmarking ini.
• Pada benchmarking ini, terjadi perubahan
proses yang bertujuan menciptakan dan
mengimplementasikan strategi baru.
• Adanya pergeseran dalam strategi atau
mengadopsi praktek bisnis yang baru
meruppakan harapan manajemen untuk
menghasilkan keuntungan yang kompetitif