MOS Field-Effect Transistors (MOSFETs) 1 Struktur dan Cara Kerja Devais MOSFET 2 ©2012 Mervin T Hutabarat Struktur Fisik Tampak perspektif Potongan melintang Nilai Tipikal Teknologi Saat L 0,03-1um, W 0,1-100um, tox 1-10nm 3 Tegangan Gate Nol Tegangan gate nol drain-source membentuk dioda backto-back Arus drain-source sangat kecil (nol) 4 Pembentukan Kanal Saat gate mendapat tegangan positif, elektron terkumpul di bawah elektroda gate Bila tegangan melampaui Vt terbentuk kanal dari drain ke source akibat inversi pembawa muatan Devais dengan kanal terbentuk n disebut MOSFET kanal n Tegangan efektif atau overdrive gate vOV vGS Vt Muatan dalam kanal Q Cox WL vOV Cox ox tox 5 MOSFET dengan vDS kecil Arus kecil mengalir dari drain ke source (elektron dari source ke drain) akibat drift Muatan per satuan panjang kanal Q satuan panjang kanal Medan listik sepanjang kanal E CoxWvOV vDS L Laju drift elektron laju drift elektron n E n vDS L Arus drain iD nCox W W vOV vDS nCox vGS Vt vDS L L 6 MOSFET dengan vDS kecil Arus drain iD nCox Plot arus tegangan W vGS Vt vDS L Transkonduktansi gDS g DS nCox W W vOV nCox vGS Vt L L Penentu arus Parameter transkondutansi proses W k n' n Cox dan Aspect Ratio L Parameter transkonduktansi MOSFET k n k n' W W nCox L L rDS Perilaku mendekati sifat linier resitansi 1 1 1 7 W g DS C W v C v n ox OV n ox GS Vt L L Saat vDS diperbesar Tegangan pada ujung kanal source vGS Vt VOV Tegangan pada ujung kanal drain vGD vGS vDS Vt VOV vDS Kedalaman kanal tidak sama pada source dan drain dankanal yang terbentuk ‘tapered’. Source lebih dalam karena overdrive voltage lebih besar 8 Perubahan Kanal oleh VDS 9 Kurva iD vs vDS untuk VGS > Vt 10 Operasi VDS besar (>=VOV) 11 Struktur Devais PMOS Tanpa tegangan Dengan tegangan VSB 12 Penampang CMOS 13 Lay Out CMOS Potongan melintang Layout 14 Penurunan Persamaan Arus Tegangan 15 ©2012 Mervin T Hutabarat Equipotential pada arah y (melebar) Kapasitansi gate-channel (dielektrik SiO2) per satuan area (1) Cox ox tox (2) Muatan tersimpan dalam Kapasitor (3) Q CV Muatan tersimpan dalam “potongan” equipotensial (4) Figure 4.8 Derivation of the iD–vDS characteristic of the NMOS transistor. dq Cox W dx vGS v( x) Vt 16 Microelectronic Circuits - Fifth Edition Sedra/Smith Muatan pada celah potongan dq Cox W dx vGS v( x) Vt sehingga dq Cox W vGS v( x) Vt dx Medan listrik pada “potongan” dvx E x dx Laju elektron (drift) Karena medan listrik dx dv x n E x n dt dx Arus drift pada celah “potongan” i Figure 4.8 Derivation of the iD–vDS characteristic of the NMOS transistor. Microelectronic Circuits - Fifth Edition Sedra/Smith dq dq dx dt dx dt i n Cox W vGS v( x) Vt dv x dx 17 Arus drain yang disebabkan arus drift pada celah “potongan” iD i n Cox W vGS v( x) Vt dvx dx dapat disusun menjadi iD dx n Cox W vGS v( x) Vt dvx Integrasi dengan batas source dan drain atau x antar 0 dan L dan tegangan 0 dan vDS L v DS 0 0 iD dx n Cox W vGS v( x) Vt dvx memberikan iD n Cox Untuk saturasi vDsat vGS Vt arus drain menjadi iD W 1 2 v V v vDS GS t DS L 2 1 n Cox W vGS Vt 2 2 L 18 Microelectronic Circuits - Fifth Edition Sedra/Smith 1 n Cox W vGS Vt 2 2 L 1 W vGS Vt 2 iD k n' 2 L iD W 1 2 v V v vDS GS t DS L 2 W 1 2 iD kn' v V v vDS GS t DS L 2 iD n Cox definisi konstanta kn' n Cox 19 Microelectronic Circuits - Fifth Edition Sedra/Smith