1. Sensor Gas Kapasitif Berdasarkan Perubahan pada permitivitas relatif a) Sensor Kelembaban Kapasitif Karena air memiliki konstanta dielektrik besar yang tidak normal, perubahan dalam permitivitas relatif oleh adsorpsi air, menyediakan mekanisme deteksi sederhana. b) Sensor CO2 Tipe Kapasitif Film tipis saringan molekul aluminofosfat (AlPO) -5 digunakan sebagai fase dielektrik dalam sensor kimia jenis kapasitansi untuk CO dan CO2.. c) Sensor CO dan Hidrokarbon Tipe Kapasitif Sensor ini berdasarkan perubahan pada sifat dielektrik silikat yang dimodifikasi secara organik. 2. Sensor Tipe Kapasitif Berdasarkan Ketebalan dari Lapisan Dielektrik a) Sensor Tipe Kapasitif Berdasarkan Struktur MOS Sensor tipe kapasitif untuk hidrogen, amonia, dan kelembaban bekerja berdasarkan penggunaan struktur logam-oksida-semikonduktor (MOS). Sensor tipe kapasitif MOS ini didasarkan pada perubahan pada lapisan penipisan yang disebabkan oleh perubahan fungsi kerja logam pada paparan gas. b) Sensor CO2 dan NOX Tipe Kapasitif berbasis p-n junction Berbagai sistem telah diusulkan baru-baru ini untuk penginderaan CO2 dari sudut pandang pengurangan biaya, miniaturisasi, dan / atau penyederhanaan sistem deteksi. Karena reaktivitas karbon dioksida lemah, sinyal keluaran dari sensor CO2 umumnya kecil, membuat selektivitas target penting dalam pengembangan sensor CO2. Sementara sebagian besar sensor CO2 yang dilaporkan sejauh ini didasarkan pada sel konsentrasi gas elektrolit padat, sensor tipe kapasitif berdasarkan kontrol lapisan penipisan pada persimpangan p-n yang terbentuk dalam bubuk semikonduktor oksida
